光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，提升光刻機(jī)的研發(fā)制造能力，對(duì)國(guó)產(chǎn)芯片發(fā)展進(jìn)步至關(guān)重要。光刻機(jī)涉及多項(xiàng)復(fù)雜的先進(jìn)技術(shù)，中國(guó)工程院譚久彬院士在《儀器儀表學(xué)報(bào)》2023年3期發(fā)表《超精密測(cè)量是支撐光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展的基石》一文，文章對(duì)超精密測(cè)量技術(shù)在光刻機(jī)制造中的重要作用進(jìn)行了闡述。

文章指出光刻機(jī)是尖端裝備的珠穆朗瑪峰。超精密測(cè)量是支撐光刻機(jī)產(chǎn)品研發(fā)與制造，保證光刻機(jī)產(chǎn)品制造精度等級(jí)與質(zhì)量水平的基石。綜述了光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的特點(diǎn)與發(fā)展趨勢(shì)。在此基礎(chǔ)上，從零部件、分系統(tǒng)、整機(jī)集成、整機(jī)性能層面闡述了超精密測(cè)量對(duì)光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展的支撐作用。分析了光刻機(jī)產(chǎn)品精密能力提升的途徑和超精密光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)測(cè)量體系建立的必要性，包括管控超精密光刻機(jī)產(chǎn)品制造質(zhì)量的工業(yè)測(cè)量體系和管控光刻機(jī)產(chǎn)品工業(yè)測(cè)量體系量值準(zhǔn)確可靠的計(jì)量體系。提出了建設(shè)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心的必要性。

引用論文：譚久彬.超精密測(cè)量是支撐光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展的基石[J/OL].儀器儀表學(xué)報(bào):1-7[2023-04-19].http://kns.cnki.net/kcms/detail/11.2179.TH.20230413.1947.002.html

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作者簡(jiǎn)介

譚久彬，中共黨員，2017年當(dāng)選中國(guó)工程院院士?，F(xiàn)任哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密儀器工程研究院院長(zhǎng)、國(guó)家計(jì)量戰(zhàn)略專家咨詢委員會(huì)副主任、國(guó)際測(cè)量與儀器委員會(huì)（ICMI）常務(wù)委員、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)第九屆理事會(huì)副理事長(zhǎng)。長(zhǎng)期從事超精密測(cè)量與儀器工程的科研與人才培養(yǎng)。面向高端裝備制造質(zhì)量提升的特殊需求，提出超精密儀器與裝備精度調(diào)控方法及理論，研制成功4種國(guó)家級(jí)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置和21種大型超精密測(cè)量?jī)x器與超大型超精密測(cè)試裝備，創(chuàng)建了超精密儀器與裝備精度調(diào)控技術(shù)體系與平臺(tái)體系，解決了我國(guó)戰(zhàn)略武裝裝備、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、高性能衛(wèi)星相機(jī)等36各重大型號(hào)高端裝備研制生產(chǎn)中的超精密測(cè)量與精度調(diào)控難題，顯著提升了重大型號(hào)裝備的精度水平。建成國(guó)內(nèi)第一個(gè)超精密儀器研發(fā)基地和產(chǎn)業(yè)化基地。作為第一完成人，獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)，二等獎(jiǎng)2項(xiàng)。