2025年10月22-23日，由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)、清華大學(xué)主辦，蘇州大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院、蘇州市機(jī)器人產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)、江蘇省具身智能機(jī)器人技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室承辦，蘇州納米科技發(fā)展有限公司協(xié)辦的第十八屆微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化學(xué)術(shù)論壇(ICMAN 2025)暨第十屆微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化科研成果轉(zhuǎn)化“智程半導(dǎo)體杯”學(xué)生大賽在中國(guó)江蘇蘇州圓滿(mǎn)落幕。百位國(guó)內(nèi)外微納領(lǐng)域?qū)＜摇⒀芯咳藛T、企業(yè)界人士相約ICMAN 2025學(xué)術(shù)論壇，圍繞“微納感知助力具身智能”這一主題，深度聚焦微納器件制造與微系統(tǒng)技術(shù)研究，進(jìn)行學(xué)術(shù)交流和產(chǎn)業(yè)推廣，促進(jìn)微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化。

論壇開(kāi)幕式由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)副主任委員、清華大學(xué)朱榮教授主持，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)副秘書(shū)長(zhǎng)張莉，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主任委員、蘇州大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院院長(zhǎng)孫立寧教授、蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)張淑梅致辭。

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)副主任委員、清華大學(xué)朱榮教授主持

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)副秘書(shū)長(zhǎng)張莉致辭

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主任委員、蘇州大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院院長(zhǎng)孫立寧教授致辭

蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長(zhǎng)張淑梅致辭

來(lái)自高校、研究所和企業(yè)的27位專(zhuān)家、學(xué)者、企業(yè)家等作了精彩報(bào)告。主旨報(bào)告分別由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)委員、蘇州大學(xué)陳立國(guó)教授和中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)委員/副總干事、蘇州大學(xué)劉會(huì)聰教授主持。

蘇州大學(xué)孫立寧教授在主旨報(bào)告中以微納感知賦能具身智能機(jī)器人創(chuàng)新發(fā)展為主題，介紹機(jī)器人具身智能為微納傳感技術(shù)的發(fā)展帶來(lái)新的機(jī)遇和市場(chǎng)藍(lán)海。具身智能通過(guò)機(jī)器人等物理實(shí)體與環(huán)境交互，能進(jìn)行環(huán)境感知、信息認(rèn)知、自主決策和采取行動(dòng)，并能夠從經(jīng)驗(yàn)反饋中實(shí)現(xiàn)智能增長(zhǎng)和行動(dòng)自適應(yīng)。微納傳感技術(shù)結(jié)合AI大模型，將實(shí)現(xiàn)AI多傳感融合，并產(chǎn)生智能識(shí)別、智能規(guī)劃、智能抓取、智能交互等新功能，促進(jìn)機(jī)器人具身智能的創(chuàng)新演化和發(fā)展應(yīng)用。

東南大學(xué)黃慶安教授在主旨報(bào)告中提到，MEMS已經(jīng)改變了人類(lèi)感知與控制外部世界的方式。往前看，一方面需要持續(xù)研究開(kāi)發(fā)MEMS材料、設(shè)計(jì)、制造、封裝等問(wèn)題，進(jìn)一步提高性能，降低成本，擴(kuò)展應(yīng)用領(lǐng)域；另一方面，需要探索新原理，以期提高性能或者實(shí)現(xiàn)以前不可能的器件。宇稱(chēng)-時(shí)間（Parity-Time）對(duì)稱(chēng)性1998年起源于量子力學(xué)，是指系統(tǒng)經(jīng)過(guò)空間反射和時(shí)間反演作用后保持不變。由于量子力學(xué)的波動(dòng)方程與經(jīng)典波動(dòng)方程在數(shù)學(xué)上的相似性，PT對(duì)稱(chēng)系統(tǒng)的特征首先于2008年在光學(xué)系統(tǒng)觀(guān)測(cè)到，進(jìn)而在光學(xué)、電學(xué)、聲學(xué)等領(lǐng)域發(fā)現(xiàn)了大量奇特效應(yīng)和潛在應(yīng)用。報(bào)告介紹本課題組在MEMS中實(shí)現(xiàn)PT對(duì)稱(chēng)系統(tǒng)的探索研究，以及在高靈敏傳感和非互易傳輸方面的初步應(yīng)用。

大連理工大學(xué)劉新宇教授在主旨報(bào)告中指出開(kāi)發(fā)一種超軟（即楊氏模量<30 0.5-11="">10 S/m），同時(shí)還具有強(qiáng)大的表面粘附性能。此外，我們通過(guò)多種微圖案化方法（如激光切割、3D打印和光刻）制造超軟電子器件，并展示了它們?cè)诳纱┐鱾鞲小④涹w機(jī)器人和生物電子記錄中的應(yīng)用。

西安交通大學(xué)趙玉龍教授介紹了MEMS執(zhí)行器及相關(guān)技術(shù)在新一代微火工品與微引信當(dāng)中的應(yīng)用?；陔姛狎?qū)動(dòng)原理，設(shè)計(jì)并制造出一種具有達(dá)輸出位移的四隔板MEMS安保裝置。微執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)原理、制造工藝、集成封裝及應(yīng)用技術(shù)將會(huì)詳細(xì)闡述。通過(guò)微沖擊片起爆試驗(yàn)驗(yàn)證了微執(zhí)行器的可靠性與安全性，該微執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)了良好的安全與解保特性?；谏鲜鲅芯砍晒?，研發(fā)了集成有MEMS換能元、MEMS安保裝置、微毀傷單元的MEMS智能彈藥，實(shí)現(xiàn)了與微無(wú)人平臺(tái)的搭載并形成系列微裝備。

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所李昕欣研究員在主旨報(bào)告中分析當(dāng)今國(guó)際MEMS巨頭企業(yè)博世和意法半導(dǎo)體的單片單面MEMS工藝技術(shù)APSM和VENSENS，進(jìn)而講述我們自主發(fā)明的單片單面MEMS制造技術(shù)-“微創(chuàng)手術(shù)”MIS工藝方法，并通過(guò)直接對(duì)比來(lái)顯示MIS工藝的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。通過(guò)多種先進(jìn)傳感器的實(shí)例來(lái)說(shuō)明MIS工藝的通用覆蓋加工能力。

清華大學(xué)朱榮教授提及機(jī)器人在復(fù)雜場(chǎng)景中的多模態(tài)感知與智能控制面臨巨大挑戰(zhàn)。團(tuán)隊(duì)提出并建立了一種類(lèi)皮膚熱感受器原理，研制出多模態(tài)柔性傳感器和電子皮膚，能夠感知多維力/力矩、接觸物質(zhì)、溫度、流體、滑動(dòng)和紋理等豐富信息，具有集成度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、傳感性能優(yōu)、調(diào)控性好等特點(diǎn)。我們將柔性傳感器和電子皮膚應(yīng)用于智能機(jī)器人，多模態(tài)觸覺(jué)傳感器用于靈巧手操作，多模態(tài)電子皮膚用于人機(jī)交互，將觸覺(jué)感知與機(jī)器視覺(jué)/聽(tīng)覺(jué)和智能控制相結(jié)合，融合人工智能技術(shù)，構(gòu)建具身智能系統(tǒng)架構(gòu)，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人靈巧操作和智能家政服務(wù)等智能應(yīng)用。

主題（特邀）報(bào)告分別由大連理工大學(xué)劉軍山研究員、中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所梁靜秋研究員主持。華中科技大學(xué)吳志剛教授，上海交通大學(xué)劉景全教授，機(jī)械工業(yè)儀器儀表綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究所所長(zhǎng)歐陽(yáng)勁松（杜曉輝代），蘇州大學(xué)陳立國(guó)教授，北京航空航天大學(xué)蔣永剛教授，樂(lè)聚智能（深圳）股份有限公司董事長(zhǎng)冷曉琨，人形機(jī)器人（上海）有限公司副總經(jīng)理劉宇飛（邢伯陽(yáng)代），安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理張勝兵（劉垚代），美的中央研究院資深工程師羅彪作大會(huì)主題（特邀）報(bào)告，蘇州納米科技發(fā)展有限公司經(jīng)理沈偉杰介紹蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。

青年專(zhuān)家論壇報(bào)告由上海交通大學(xué)楊卓青教授和清華大學(xué)柳世強(qiáng)特聘研究員主持。哈爾濱工業(yè)大學(xué)張甲教授，上海交通大學(xué)楊睿教授，中北大學(xué)王任鑫教授，中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所郭振研究員，蘇州大學(xué)李東升副教授，南京理工大學(xué)姜波副教授，上海交通大學(xué)臧法珩副教授，昆明理工大學(xué)侯誠(chéng)副教授，蘇州大學(xué)陳冠宇副教授，中國(guó)科學(xué)院北京納米能源與系統(tǒng)研究所李恒禹副研究員，明察智新（深圳）科技有限公司產(chǎn)品主管陳梓煊作大會(huì)青年專(zhuān)家論壇報(bào)告。國(guó)內(nèi)領(lǐng)域?qū)＜?、研究人員和知名企業(yè)家齊聚一堂，在MEMS技術(shù)、微納器件制造、微系統(tǒng)技術(shù)研究等方面交流獨(dú)到的見(jiàn)解，分享各自取得的研究成果，促進(jìn)微納領(lǐng)域技術(shù)的交流發(fā)展。

此外，同期舉辦了第十屆微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化科研成果轉(zhuǎn)化“智程半導(dǎo)體杯”學(xué)生大賽，這也是會(huì)議的亮點(diǎn)之一，該賽事旨在鼓勵(lì)在校大學(xué)生和研究生將具有產(chǎn)業(yè)化潛力的研究成果進(jìn)行展示和產(chǎn)業(yè)化策劃，引導(dǎo)和激勵(lì)年輕學(xué)子積極參與微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化事業(yè)。本次大賽得到數(shù)十所高校及科研院所的近百名師生積極響應(yīng)和報(bào)名，甄選出9組優(yōu)秀隊(duì)伍入圍決賽，共30余名學(xué)生參會(huì)，于22日下午做出了精彩的展示。各隊(duì)選派代表進(jìn)行了精彩的答辯并接受了答辯委員會(huì)評(píng)委的現(xiàn)場(chǎng)評(píng)審。最終，來(lái)自電子科技大學(xué)“大范圍快響應(yīng)納機(jī)電氣壓傳感器”項(xiàng)目榮獲本屆大賽一等獎(jiǎng)；來(lái)自蘇州大學(xué)的“面向心血管疾病預(yù)診預(yù)警的智能脈象識(shí)別儀”項(xiàng)目榮獲大賽二等獎(jiǎng)；來(lái)自中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院的“基于勻強(qiáng)光場(chǎng)的定量熒光流式細(xì)胞儀”、重慶大學(xué)的“基于微流控AI技術(shù)的細(xì)菌表型藥敏快速檢測(cè)技術(shù)”、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的“一種穿戴式呼氣末二氧化碳監(jiān)測(cè)裝置”項(xiàng)目獲得大賽三等獎(jiǎng)。

本次論壇為來(lái)自國(guó)內(nèi)學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的專(zhuān)家學(xué)者、企業(yè)家及研究人員提供一個(gè)促進(jìn)微米納米技術(shù)和傳感器創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化的重要技術(shù)交流平臺(tái)，同時(shí)也是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界相互合作、共同促進(jìn)先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的紐帶。