1937年10月生，清華大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師。精密儀器和微系統(tǒng)技術(shù)專家。歷任清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心主任、精密儀器系主任、機(jī)械工程學(xué)院副院長，國家863航天領(lǐng)域?qū)＜椅瘑T會委員，北京市人民政府科技顧問。從事微米納米技術(shù)、測量與控制技術(shù)和生物醫(yī)療儀器研究，國際傳感器執(zhí)行器和機(jī)械電子兩科技雜志編委，是我國微系統(tǒng)技術(shù)的開拓者之一。
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